平面度檢查儀可廣泛應用于各級計量單位，研究所和大學實驗室及大型機械加工工廠計量室和車間，對機床，儀器的精密導軌和精密平板做運動直線性和平直度測量，以及角度儀器和器具的角度值精度測定。平面度檢查儀是根據光學自準直原理設計的，它可以地測量機床或儀器導軌的直線度誤差，也可以測量平板等的平面度誤差，利用光學直角器和帶磁性座的反射鏡等附件，還可以測量垂直導軌的直線度誤差，以及垂直導軌和水平導軌之間的垂直度誤差，與多面體聯用可以測量圓分度誤差。
平面度檢查儀特點:
1.分度值為格值，計算直線度和平面度誤差直觀、方便。
2.儀器結構小巧，攜帶方便，適合各種條件下使用。
3.暗視場亮十字線瞄準，成像清晰，讀數方便。
4.光學直角器采用高精度五角棱鏡，與帶磁性座的反射鏡聯用，可以測量相互垂直的導軌的直線度和垂直度。
5.取景器和水平調整板配合使用可以方便地找到遠距離的反射像。
6.目鏡頭可回轉 90°，能分別測量水平和垂直兩個方向的直線度誤差。
平面度檢查儀用途：
1.平面度檢查儀適用于各級計量單位、研究所、大專院校實驗室、工廠計量室，特別適用于車間加工和安裝調試現場。
2.與光學直角器(選配)、帶磁反射鏡(選配)聯合使用，可測量垂直導軌的平直度和垂直度。
3.與多面棱體(選配)聯合使用，可測量度盤的圓分度誤差。
平面度檢查儀是一種應用光學自準直成象測微原理的高精度測角儀器，它利用光學自準直法，把角度量變成線值量，由微型線位移光柵傳感器測出線值變化量，間接地把角度變化量測出來。它廣泛用于小角度的精密測量。平面度檢查儀采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于航空航天，汽車工業噴油嘴行業，泵、閥門密封件表面，以及光學工程，激光工程等領域。
